연구장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
습식처리기 (Wet Station)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
초음파 세척장치, 열선장치 및 DI Water 비저항 측정기를 이용한 산업용 반도체, 조명소자용 ITO 기판의 습식처리 장치. 사용되는 용매의 성질에 따라 산성 유기용매는 PVC나 Quartz재질, 세척용 유기용제의 경우에는 SUS 재질로 제작된 Bath를 사용하여 공정을 진행한다.
장비구성

성능
1. 구성 : Organic Wet Station & Acid Wet Station2. 장비규격: 각각 1600(W) X 1000(D) X 2100(H)의 크기로 2개 구성3. 2개의 Quartz Bath, 3개의 PVC Bath, 5개의 SUS Bath로 구성 4. Temp Control: Setting Temp. ±1℃, Auto tuning system 5. System Control: PLC Control & Touch panel 6. Safety Interlock: Emergency switch, Over-heat interlock, Leak sensor, Exhaust Interlock, Nitrogen level sensor 7. DI Water, N2 Gun, DI Water Resistivity meter installation 8. Bath 용량: 약 12L 9. 최대수용 기판크기: 200mm X 200mm
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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